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MKS質量流量控製器產品概述：
①電容壓力計是可以測量壓力和真空度的機電式壓力計。電容表將薄膜中的壓力調製運動轉換成與(yu) 壓力成比例的電信號。壓力傳(chuan) 感器是薄的隔膜，通過入口管暴露在壓力或真空下。電極安裝在隔膜後麵的參考腔中。過程與(yu) 參考腔之間的壓力差會(hui) 使隔膜稍微偏斜，從(cong) 而改變了隔膜與(yu) 電極之間的距離。該距離的變化會(hui) 在隔膜和電極之間產(chan) 生電容變化，從(cong) 而產(chan) 生與(yu) 壓力變化成比例的電信號。
②AA07A/AA08A傳(chuan) 感器非常適合用於(yu) 將超純氣體(ti) 供入關(guan) 鍵過程係統的輸送係統。它們(men) 暴露在氣流中的濕表麵的表麵光潔度比Ra好5µin。這些換能器具有出色的幹燥特性，並且在背景以上沒有顆粒。在製造和組裝後，將它們(men) 用超淨氮氣吹掃，然後在100級環境中進行兩(liang) 次裝袋。
③AA07A/AA08A中的傳(chuan) 感器采用全Incoloy®結構，可實現較高的過壓容限，從(cong) 而減少了由於(yu) 管路壓力峰值而引起的誤差。高爆破壓力等級有助於(yu) 整體(ti) 係統安全。在現有的氣櫃和處理係統上，由於(yu) 體(ti) 積小，行業(ye) 標準的端到端長度以及這些傳(chuan) 感器的電氣接口選擇，使得更換普通百分表或性能較低的傳(chuan) 感器變得容易。